Der Klägerin und Revisionsklägerin (Klägerin) wurden vom Beklagten und Revisionsbeklagten (Finanzamt -- FA --) mit drei Bescheiden antragsgemäß Investitionszulagen für Forschungs- und Entwicklungsaufwendungen gemäß § 4 des Investitionszulagengesetzes 1979 (InvZulG 1979) ab dem Wirtschaftsjahr 1978/79 in Höhe von insgesamt ... DM gewährt. Die Zulagen bezogen sich zunächst auf Teilherstellungskosten einer im Wirtschaftsjahr 1980/81 fertiggestellten Versuchsanlage X und in den Folgejahren auch auf Teilherstellungskosten eines im Wirtschaftsjahr 1981/82 fertiggestellten dazugehörigen Geräts Y. Die Zulagen wurden wie folgt berechnet: